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新凯来作为国产半导体设备领域的领军企业，其5纳米芯片生产涉及的供应链涵盖了设备、材料、软件及技术等多个环节，以下为相关上市公司及其关联业务的梳理：
一、设备供应商
1. 至纯科技（603690.SH）
关联业务：提供半导体湿法清洗设备，支持新凯来产线良率提升。其单片硫酸清洗机已实现量产，关键指标达国际先进水平。
合作深度：2021年采购金额达3000万元，是核心供应商之一。
2. 新莱应材（300260.SZ）
关联业务：供应真空系统、气体管路等高纯应用材料，服务于新凯来的RTP（快速热处理）和DPN（扩散预清洗）设备。
订单规模：2024年三季度订单金额达8000万元，直接受益于新凯来设备放量。
3. 富创精密（688409.SH)
关联业务：提供半导体设备精密零部件（如工艺腔体、气体管路等），支持7纳米及以下工艺设备制造。
技术优势：全球少数能量产7纳米工艺零部件的企业之一。
4. 奥普光电（002338.SZ）
关联业务：与新凯来合资成立长光集智光学，提供光刻机核心部件曝光系统，涉及光学量测技术。
技术储备：光学加工精度达纳米级，为国家级专精特新“小巨人”企业。
5. 北方华创（002371.SZ）
关联业务：提供第三代半导体设备（如刻蚀、PVD等），与新凯来在碳化硅、氮化镓领域协同。
行业地位：国内产品线最全的集成电路装备企业。
-二、材料供应商
1. 江丰电子（300666.SZ）
关联业务：提供高纯溅射靶材，用于芯片制造中的金属镀膜环节，适配新凯来的PVD设备。
技术突破：打破国外垄断，产品覆盖5纳米先进制程。
2. 天富能源（600509.SH）
关联业务：子公司天科合达与新凯来母公司合资成立重投天科，推进碳化硅晶片量产。
技术亮点：碳化硅材料良品率达70%，较行业水平提升20%。
3. 冠石科技（605588.SH）
关联业务：提供掩膜版技术，支持自对准四重成像（SAQP）工艺，与新凯来设备协同研发。
应用场景：用于28纳米及以下制程的曝光工艺。
-三、检测与量测设备
1. 国林科技（300786.SZ）
关联业务：提供光刻机、光刻胶设备的清洗服务，配套新凯来设备的运维需求。
技术优势：国内臭氧发生器龙头，性能对标国际标准。
2. 同惠电子（833509.BJ）
关联业务：布局第三代半导体参数测试设备，支持新凯来量测环节的验证需求。
增长数据：2024年归母净利润同比增长30.84%。
**四、软件与技术合作
1. AI算法与工艺优化
技术路径：新凯来通过AI调优提升设备效率，潜在合作方包括华为昇腾生态企业（如中科曙光、寒武纪等）。
应用场景：优化刻蚀、沉积等工艺参数，提升良率。
2.中科院与高校协同
合作机构：清华大学微电子系、中科院微电子所等提供基础研究支持，涉及光源技术、原子层沉积优化等。
产业化案例：北京大学电子显微镜中心研究成果直接输入新凯来工艺优化系统。
-五、产业链协同与验证
中芯国际（00981.HK）：新凯来设备已进入其验证阶段，涉及PVD、ALD等关键设备。
华为海思：与新凯来联合推动“研发-验证-迭代”闭环，加速国产替代进程。
总结与市场影响
新凯来的技术突破带动了国产半导体设备产业链的升级，相关上市公司在设备、材料、检测等环节深度参与，形成“研发-验证-量产”的闭环生态。未来随着5纳米制程的成熟，这些企业有望进一步扩大市场份额，推动国产替代进程。
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